你认为氦检漏的工作原理是什么?
1、氦质谱检漏仪工作原理 图1是一个典型质谱室的剖面图，灯丝电离出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞，使氦分子发生电离，He →He++e 。
2、氦质谱检漏仪：原理其实把氦气分子电离后从阴极射线打出来，跟CRT一样，进入一个相互垂直的电、磁场，通过氦原子偏转来测试漏率的，单位是帕立方米每秒。检漏仪一般采用德国英福康的。
3、又称热交换器。热交换热器全自动真空氦检机工作原理是氦检漏的基本检漏原理。氦检是对被检产品抽空后充入一定压强的氦气，被检产品外面是具有一定真空度要求的真空空间，真空空间与氦检机漏口相接。
氦气检测仪的详细介绍
1、氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
2、．氦质谱检漏仪氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
3、氦气检漏仪和氦质谱检漏仪都是用于检测泄漏的仪器。氦气检漏仪利用氦气的轻微性质，将氦气注入被检验的物体中，然后使用氦气探测器来检测泄漏点。
氦质谱检漏仪的工作原理
氦质谱检漏仪：原理其实把氦气分子电离后从阴极射线打出来，跟CRT一样，进入一个相互垂直的电、磁场，通过氦原子偏转来测试漏率的，单位是帕立方米每秒。检漏仪一般采用德国英福康的。
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的专用质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。
真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。
真空氨气检漏是氦质谱检漏仪的其中一种使用方法。该方法的泄漏检测原理是将待检部件内部抽入真空，然后与氦质谱仪连接，并用氦气罩覆盖被检整机或部件外部。
